Load Port對(duì)應(yīng)膜厚測(cè)量系統(tǒng) GS-300

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
●Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成

●實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對(duì)齊

●支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求

●支持槽口對(duì)齊功能

●小尺寸規(guī)格

●高精度自動(dòng)校準(zhǔn)單元

Name: Load Port對(duì)應(yīng)膜厚測(cè)量系統(tǒng) GS-300
Brand: OTSUKA/日本大塚
Availability: InStock

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-12-24

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問(wèn)量：850

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產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

光譜系統(tǒng)

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產(chǎn)品信息

測(cè)量示例

TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度

晶圓厚度Φ300mm尺寸

規(guī)格

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測(cè)量示例

Load Port對(duì)應(yīng)膜厚測(cè)量系統(tǒng) GS-300

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