獨(dú)立式多維度高性能觀察系統(tǒng)

0.7-4.5X光學(xué)放大倍數(shù),最大電子放大倍數(shù)270倍,1:7變焦 四維調(diào)節(jié)，行程40mm，含不銹鋼立柱，不銹鋼焊接底板，轉(zhuǎn)接扣，轉(zhuǎn)接板，鏡頭扣等夾具 鏡頭工作距離86mm 200萬像素HDMI相機(jī)，C接口，帶十字線 帶高清顯示器，環(huán)形燈，帶測量，拍照，錄像，繪圖等 鏡頭可以實(shí)現(xiàn)0-90°旋轉(zhuǎn)

中間芯片臺

定制：真空吸附或者機(jī)械夾持芯片夾具 XY軸中間調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，13mm行程，1微米靈敏度，θY軸中間調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，360°行程，55"/格（Y軸是垂直軸）

六軸調(diào)整架

臺面尺寸： 125x125mm 粗行程：50mm ; 最小步進(jìn)可以達(dá)到10nm 帶50nm光柵尺反饋 最大速度:：20mm/s 重復(fù)精度： +/-0.01um ThetaXYZ: ±6 0.0025°,±8°, 0.003°； ±8°,0.0032 °； 交叉滾柱導(dǎo)軌 含轉(zhuǎn)接夾具三軸共心設(shè)計(jì)